电子湿化学品-电子级硫酸

更新时间：2020-12-05

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英文名：Sulfuric Acid，分子式：H₂SO₄，硫的重要的含氧酸，无水硫酸为无色油状液体，10.36℃时结晶，沸点338℃，相对密度为1.84。硫酸是一种活泼的二元无机强酸，能和绝大多数金属发生反应。高浓度的硫酸有强烈吸水性，可用作脱水剂，碳化木材、纸张、棉麻织物及生物皮肉等含碳水化合物的物质。与水混合时，亦会放出大量热能。其具有强烈的腐蚀性和氧化性，故需谨慎使用。

*，电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中*的关键基础化学试剂。目前广泛应用于大规模集成电路(IC)、半导体等微电子工业，用作清洗和蚀刻剂.随着中国微电子工业的高速发展，电子级硫酸的需求量日益增加，供不应求，电子级硫酸有着良好的应用前景.

电子级硫酸主要应用于电子硅晶片生产过程的清洗和蚀刻。

硅圆片在加工过程中，常常会被不同的杂质所沾污，可引起大规模集成电路产率下降50%左右。硅圆片上不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的大规模集成电路报废。