E-Scan系列电子级HF浓度在线分析仪采用临界角检测原理，检测不受物料的颜色，浑浊度，气泡，固体颗粒等杂质的影响、具备高精度的自动温度补偿功能。

电子级HF，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中*的关键基础化学试剂，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。

从纯度上来讲，电子级和分析纯的化学品，相对于普通化学品，其纯度都很高，杂质含量少，但是两个属于不同的标准体系，对杂质的关注点不一样。 电子级是对用于电子元器件生产过程中使用的化学品的一种泛指，相对于一般工业，其纯度要求更高，尤其是平板显示行业或者半导体行业。其更每种化学品更中的有害杂质含量，金属离子，固体颗粒等等。用于半导体工业的电子级化学品纯度一般比分析纯的化学试剂更高，可参考SEMI相关化学品的标准。对于芯片生产过程来说，一般情况下，纯度会在99.999%数量级，12寸芯片生产可能会用到99.999999999%纯度的化学品。 分析纯是化学试剂的一个纯度标准，这个系列里包括 优级纯，分析纯，化学纯和实验纯。其中分析纯干扰杂质很少，适用于工业分析及化学实验，比如用于滴定之类的分析。

在复杂的芯片生产工艺中，盐酸也是*的试剂。

电子级HF生产工艺技术特征

1. 杂质砷是电子级HF中需要控制的一种重要杂质指标，在HF原料中砷一般以三价态形式存在，而且AsF3与HF的沸点相差不大，所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。为去除杂质砷，可在精馏前，加入适量的强氧化剂（如高锰酸钾等）将三价态的砷进行氧化，使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。

2. 生产设备与工艺：生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料，生产工艺采用常压、全封闭、连续化，采用热水低温(小于100度)精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。

3. 高纯水制备：通过离子交换与过滤器先制得普通纯水，再经过反渗透、电渗析后进入杀菌、超微过滤制得高纯水。

4. 在无水HF预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。

5. 设置尾气吸收塔、碱吸收塔，尾气可达标排放。

电子级HF质量指标

目前，因各微电子生产企业对电子级HF要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工艺技术的制作。

产品包装方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。

SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级

 E-Scan系列电子级HF浓度在线分析仪采用临界角检测原理，检测不受物料的颜色，浑浊度，气泡，固体颗粒等杂质的影响、具备高精度的自动温度补偿功能。采用优秀的分体式体式，全屏蔽抗干扰设计，光电信号直接转换处理。摒弃一体式不耐振动和高温的影响的缺点，保障了在线测量的精度及延长仪器使用寿命。内置光纤光路传导系统，拥有优秀的抗震性能和高稳定性、内置温度传感器和干燥剂有效监测糖度仪的运行状态。

E-Scan系列电子级HF浓度在线分析仪可以安装在不同管径的管道或者罐体容器壁上，进行浓度监测和控制，可以直接显示质量*（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用户自定义的单位，现场显示并可以模拟信号（RS232)远传至电脑进行即时数据存储、打印、追溯等功能；通过4-20ma信号远传至plc/dcs /变频器进行监控或控制。

E-Scan系列电子级HF在线分析仪拥有以下特征：
●316ss材质的传感器使其满足化工、半导体行业的要求并且耐温高达150℃；
●免维护、无耗材、无漂移、自诊断功能，智能报警信号输出功能；
●防护等级：NEMA4X(IP67）；
●自动温度补偿（软件拥有丰富的产品线性数据库和温度补偿数据库）；
●多组4-20maA模拟信号及数字信号输出（隔离，非隔离可选）；
●3648高分辨率的CCD；
●多种报警信息输出显示（高低/高高/低低/偏差）；
●可循环的干燥剂，无耗材，免维护；
●光源为589nmled灯，寿命长达100000小时；
●安装适配器标准:PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon；
●高精度，高品质“美国制造”